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    半導體無塵車間工程

    半導體無塵車間工程

    產品詳情

          無塵車間工程根據潔凈度不同可以分為100級、1000級、10000級和100000級等。而半導體電子潔凈車間的潔凈度要求按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數計算,一般是在10萬級標準以上。半導體電子無塵室工程中,想要控制小粒徑粉塵的擴散,就需要用到過濾器。一般而言,無塵車間的運行中風速越低,過濾器的使用效果越好。



         

    在無塵車間工程中,風速越低小粒徑粉塵的擴散作用就明顯,這主要是因為潔凈車間中風速越低,氣流在過濾材料中所需要滯留的時間就會越長,粉塵對周邊障礙物的撞擊越明顯,過濾效率自然也就就高。在大多數情況下,如果無塵車間工程使用的是高效過濾器,風速一旦減少一半,粉塵的透過率會降低近一個數量級,風速增加一倍,透過率會增加一個數量級。小粒徑粉塵的擴散中,風速高,阻力就大,如果過濾器的使用壽命以終阻力為依據,風速高,過濾器的使用壽命就短。

    半導體電子無塵車間工程中,與小粒徑粉塵的擴散的效果類似,如果過濾材料帶靜電,粉塵在濾材中滯留的時間越長,被材料吸附的可能性就越大。當半導體電子潔凈車間的風速發生改變時,帶靜電材料的過濾效果就會得到明顯的改變。所以在進行無塵室工程設計時,如果材料上有靜電,在進行空調系統設計時就要盡可能地減少通過每只過濾器的風量。對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵,根據傳統理論,風速降低后,粉塵與纖維碰撞的幾率會減少,過濾效率會隨之降低。但在實踐中這種影響并不明顯,因為風速小了,纖維對粉塵的反彈力也小了,粉塵更容易被粘住。


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